A Simplified Equivalent Circuit Model of MEMS Electrostatic Actuator

Modeling a MEMS (Micro Electro-Mechanical Systems) electrostatic actuator in electrical domain is important for system simulation of the actuator along with its associated electronics. For instance, an integrated MEMS resonator used in a serial I/O PLL design modeled in electrical domain enables to...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:International journal of computer applications 2017-01, Vol.160 (9), p.17-23
1. Verfasser: Chawda, Pradeep
Format: Artikel
Sprache:eng
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Online-Zugang:Volltext
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