A Simplified Equivalent Circuit Model of MEMS Electrostatic Actuator
Modeling a MEMS (Micro Electro-Mechanical Systems) electrostatic actuator in electrical domain is important for system simulation of the actuator along with its associated electronics. For instance, an integrated MEMS resonator used in a serial I/O PLL design modeled in electrical domain enables to...
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Veröffentlicht in: | International journal of computer applications 2017-01, Vol.160 (9), p.17-23 |
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1. Verfasser: | |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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Online-Zugang: | Volltext |
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