Direct fabrication of a metal-like TiN-based plasmonic grating using nitridation of a photo-patternable TiO sub(2) sol-gel film

We propose to combine a few known technologies to print TiO sub(x) N sub(y) quasi-sinusoidal grating using a direct photo-patternable TiO sub(2) sol-gel thin layer, enabling the conversion of a pure dielectric grating to a metallic one. An expanded laser beam illuminates a photosensitive TiO sub(2)...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Optical materials express 2016-08, Vol.6 (8), p.2508-2520
Hauptverfasser:	Berthod, L, Gate, V, Bichotte, M, Langlet, M, Vocanson, F, Jimenez, C, Jamon, D, Verrier, I, Veillas, C, Parriaux, O, Jourlin, Y
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Dielectrics Diffraction gratings Gratings (spectra) Heat treatment Plasmonics Sol gel process Titanium dioxide Titanium oxides
Online-Zugang:	Volltext
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