Effect of ion beam figuring and subsequent antireflective coating deposition on the surface absorption of CaF2 at 193 nm

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Applied optics. Optical technology and biomedical optics 2017-02, Vol.56 (4), p.C91-C95
Hauptverfasser:	Mühlig, Christian, Bublitz, Simon, Feldkamp, Roman, Bernitzki, Helmut
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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