Imido Complexes Derived from the Reactions of Niobium and Tantalum Pentachlorides with Primary Amines: Relevance to the Chemical Vapor Deposition of Metal Nitride Films
Reactions of niobium and tantalum pentachlorides with tert-butylamine (≥6 equiv) in benzene afford the dimeric imido complexes [NbCl2(NtBu)(NHtBu)(NH2 tBu)]2 (90%) and [TaCl2(NtBu)(NHtBu)(NH2 tBu)]2 (79%). The niobium complex exists as two isomers in solution, while the tantalum complex is composed...
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Veröffentlicht in: | Inorganic chemistry 1996-08, Vol.35 (17), p.4910-4920 |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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