Laser-induced thermal desorption as an in situ surface probe during plasma processing

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Physical review letters 1994-04, Vol.72 (17), p.2801-2804
Hauptverfasser:	Herman, IP, Donnelly, VM, Guinn, KV, Cheng, CC
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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