Effects of isolated atomic collision cascades on SiO2/Si interfaces studied by scanning tunneling microscopy

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Physical review. B, Condensed matter Condensed matter, 1988-10, Vol.38 (12), p.8444-8450
Hauptverfasser:	WILSON, I. H, ZHENG, N. J, KNIPPING, U, TSONG, I. S. T
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Defects and impurities in crystals microstructure Doping and impurity implantation in iii-v and ii-vi semiconductors Exact sciences and technology Physics Structure of solids and liquids crystallography
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