Dynamic model of the electrode sheaths in symmetrically driven rf discharges

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Physical review. A, Atomic, molecular, and optical physics Atomic, molecular, and optical physics, 1990-08, Vol.42 (4), p.2299-2312
Hauptverfasser:	Godyak, VA, Sternberg, N
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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