Passive vibration compensation in scanning white-light interferometry

We present a passive vibration compensation approach in scanning white-light interferometry (SWLI). A pointwise distance measuring interferometer (DMI) obtains fast temporal distance changes during the white-light depth-scan of an aerial-measuring Michelson white-light interferometer for topography...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Applied Optics 2016-08, Vol.55 (23), p.6172-6182
Hauptverfasser:	Tereschenko, Stanislav, Lehmann, Peter, Zellmer, Lisa, Brueckner-Foit, Angelika
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Compensation Distortion Interferometers Interferometry Topography Vibration Vibration measurement White light
Online-Zugang:	Volltext
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