Heteroepitaxial Writing of Silicon-on-Sapphire Nanowires
The heteroepitaxial growth of crystal silicon thin films on sapphire, usually referred to as SoS, has been a key technology for high-speed mixed-signal integrated circuits and processors. Here, we report a novel nanoscale SoS heteroepitaxial growth that resembles the in-plane writing of self-aligned...
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Veröffentlicht in: | Nano letters 2016-12, Vol.16 (12), p.7317-7324 |
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Hauptverfasser: | , , , , , , , , , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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