A chemically stable PVD multilayer encapsulation for lithium microbatteries

A multilayer physical vapour deposition (PVD) thin-film encapsulation method for lithium microbatteries is presented. Lithium microbatteries with a lithium cobalt oxide (LiCoO2) cathode, a lithium phosphorous oxynitride (LiPON) electrolyte and a metallic lithium anode are under development, using PV...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Journal of physics. D, Applied physics Applied physics, 2015-10, Vol.48 (39), p.395306-395312
Hauptverfasser:	Ribeiro, J F, Sousa, R, Cunha, D J, Vieira, E M F, Silva, M M, Dupont, L, Goncalves, L M
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Contact Deposition Electrical resistivity Encapsulation Lithium microbatteries multilayer Multilayers Physical vapor deposition PVD Silicon nitride
Online-Zugang:	Volltext
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