Fabrication of Nonperiodic Metasurfaces by Microlens Projection Lithography

This paper describes a strategy that uses template-directed self-assembly of micrometer-scale microspheres to fabricate arrays of microlenses for projection photolithography of periodic, quasiperiodic, and aperiodic infrared metasurfaces. This method of “template-encoded microlens projection lithogr...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Nano letters 2016-07, Vol.16 (7), p.4125-4132
Hauptverfasser:	Gonidec, Mathieu, Hamedi, Mahiar M, Nemiroski, Alex, Rubio, Luis M, Torres, Cesar, Whitesides, George M
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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