GaN hexagonal pyramids formed by a photo-assisted chemical etching method

A series of experiments were conducted to systematically study the effects of etching conditions on GaN by a con-venient photo-assisted chemical (PAC) etching method. The solution concentration has an evident influence on the surface morphology of GaN and the optimal solution concentrations for GaN...

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Veröffentlicht in:Chinese physics B 2014-05, Vol.23 (5), p.588-593
1. Verfasser: 张士英 修向前 华雪梅 谢自力 刘斌 陈鹏 韩平 陆海 张荣 郑有炓
Format: Artikel
Sprache:eng
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