High-Q lithium niobate microdisk resonators on a chip for efficient electro-optic modulation

Lithium niobate (LN) microdisk resonators on a LN-silica-LN chip were fabricated using only conventional semiconductor fabrication processes. The quality factor of the LN resonator with a 39.6-μm radius and a 0.5-μm thickness is up to 1.19 × 10(6), which doubles the record of the quality factor 4.84...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Optics express 2015-09, Vol.23 (18), p.23072-23078
Hauptverfasser:	Wang, Jie, Bo, Fang, Wan, Shuai, Li, Wuxia, Gao, Feng, Li, Junjie, Zhang, Guoquan, Xu, Jingjun
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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