Mechanical,Microstructural and Tribological Properties of Reactive Magnetron Sputtered Cr-Mo-N Films

The Cr-Mo-N films were deposited on high speed steel（HSS） substrates by a DC reactive magnetron sputtering equipment coupled with two horizontal magnetron sources.The effects of substrate negative bias voltage（Vb）,substrate temperature（Ts） and gas flow ratio（R= N2/（N2+ Ar）） on the microstructure,mor...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of materials science & technology 2015, Vol.31 (1), p.55-64
Hauptverfasser:	Qi, Dongli, Lei, Hao, Wang, Tiegang, Pei, Zhiliang, Gong, Jun, Sun, Chao
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Atomic force microscopy Chromium Cr-Mo-N Critical load Cr–Mo–N films DC magnetron sputtering Elastic modulus Elastic recovery films DC Friction coefficient Hardness magnetron Microstructure Modulus of elasticity sputtering Hardness Cri Tribology Wear
Online-Zugang:	Volltext
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