Fabrication of High-Performance Ultrathin In2O3 Film Field-Effect Transistors and Biosensors Using Chemical Lift-Off Lithography
We demonstrate straightforward fabrication of highly sensitive biosensor arrays based on field-effect transistors, using an efficient high-throughput, large-area patterning process. Chemical lift-off lithography is used to construct field-effect transistor arrays with high spatial precision suitable...
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Veröffentlicht in: | ACS nano 2015-04, Vol.9 (4), p.4572-4582 |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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Online-Zugang: | Volltext |
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