Fabrication of High-Performance Ultrathin In2O3 Film Field-Effect Transistors and Biosensors Using Chemical Lift-Off Lithography

We demonstrate straightforward fabrication of highly sensitive biosensor arrays based on field-effect transistors, using an efficient high-throughput, large-area patterning process. Chemical lift-off lithography is used to construct field-effect transistor arrays with high spatial precision suitable...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:ACS nano 2015-04, Vol.9 (4), p.4572-4582
Hauptverfasser: Kim, Jaemyung, Rim, You Seung, Chen, Huajun, Cao, Huan H, Nakatsuka, Nako, Hinton, Hannah L, Zhao, Chuanzhen, Andrews, Anne M, Yang, Yang, Weiss, Paul S
Format: Artikel
Sprache:eng
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