Strong opto-electro-mechanical coupling in a silicon photonic crystal cavity

We fabricate and characterize a microscale silicon opto-electromechanical system whose mechanical motion is coupled capacitively to an electrical circuit and optically via radiation pressure to a photonic crystal cavity. To achieve large electromechanical interaction strength, we implement an invers...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Optics express 2015-02, Vol.23 (3), p.3196-3208
Hauptverfasser:	Pitanti, Alessandro, Fink, Johannes M, Safavi-Naeini, Amir H, Hill, Jeff T, Lei, Chan U, Tredicucci, Alessandro, Painter, Oskar
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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