Absolute surface metrology with a phase-shifting interferometer for incommensurate transverse spatial shifts

We consider the detailed implementation and practical utility of a novel absolute optical metrology scheme recently proposed for use with a phase-shifting interferometer (PSI). This scheme extracts absolute phase differences between points on the surface of the optic under test by differencing phase...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Applied optics (2004) 2014-02, Vol.53 (5), p.792-797
1. Verfasser:	Bloemhof, E E
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Flats Interferometers Metrology Phase shift Pixels Utilities Wave fronts
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!