A silicon force sensor for robotics and medicine

This paper describes the development of a silicon-based force sensor packaged in a flexible polyimide-based package. The fabrication process is compatible with standard integrated circuit processes and produces a flexible package that sandwiches the metal leads between protective polyimide layers. S...

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Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Sensors and actuators. A. Physical. 1995-08, Vol.50 (1), p.55-65
Hauptverfasser:	Beebe, David J., Hsieh, Arthur S., Denton, Denice D., Radwin, Robert G.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Force sensors Medicine Robotics Silicon Tactile sensors
Online-Zugang:	Volltext
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