Effect of nanocrystalline phase on the electrical conductivity of amorphous tantalum-containing silicon-carbon films

We have studied the effect of metal concentration on the electrical conductivity of tantalum-containing silicon-carbon nanocomposite films. The results demonstrate that carrier transport in the films follows different mechanisms at low and high metal concentrations. When the concentration of the con...

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Veröffentlicht in:Inorganic materials 2014-09, Vol.50 (9), p.939-944
Hauptverfasser: Barinov, A. D., Kutuzov, L. V., Popov, A. I., Presnyakov, M. Yu
Format: Artikel
Sprache:eng
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