All-Solution-Processed InGaO3(ZnO)m Thin Films with Layered Structure
We fabricated the crystallized InGaZnO thin films by sol-gel process and high-temperature annealing at 900°C. Prior to the deposition of the InGaZnO, ZnO buffer layers were also coated by sol-gel process, which was followed by thermal annealing. After the synthesis and annealing of the InGaZnO, the...
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Veröffentlicht in: | Journal of nanomaterials 2013, Vol.2013 (2013), p.1-6 |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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Online-Zugang: | Volltext |
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