Modelling for the optimization of the reaction chamber in silicon nanoparticle synthesis by a radio-frequency induction thermal plasma
The optimization of the reaction chamber for the silicon nanoparticle synthesis process by a radio-frequency induction thermal plasma is addressed using a plasma thermo-fluid-dynamic model coupled with electromagnetic field equations and with a moment model for nanoparticle transport. Various reacti...
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Veröffentlicht in: | Plasma sources science & technology 2012-10, Vol.21 (5), p.55007-1-10 |
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Hauptverfasser: | , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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Online-Zugang: | Volltext |
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