The resonance frequency shift in an SOI nano-waveguide microring resonator

To research the effect of a deposited SiO2 insulating layer on the resonance frequency modulation of an SOI nanowaveguide ring cavity during integration fabrication, a rib waveguide ring resonator was systemati- cally designed and fabricated. SiO2 insulating layers with different thicknesses were de...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of semiconductors 2013-04, Vol.34 (4), p.60-63
1. Verfasser:	臧俊斌薛晨阳韦丽萍刘超崔丹凤王永华张文栋
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Deposition Frequency modulation Frequency shift Insulating layers Nanocomposites Nanostructure Semiconductors Silicon dioxide SOI 共振点制造过程微环波导环形谐振器纳米频率偏移
Online-Zugang:	Volltext
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