Fabrication of Fresnel zone plates by ion-beam lithography and application as objective lenses in extreme ultraviolet microscopy at 13 nm wavelength
Fresnel zone plates are used for imaging at extreme ultraviolet and soft x-ray wavelengths. Fabricating these zone plates is challenging due to small structure sizes (
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Veröffentlicht in: | Optics letters 2012-12, Vol.37 (24), p.5100-5102 |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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