The development of the physical and electrical characteristics of multi-layer TiO2–W–TiO2 thin films

In this study, two different thin films, TiO 2 thin film and TiO 2 –W–TiO 2 multi-layer thin films (W, tungsten), are prepared by RF magnetron sputtering onto glass substrates. The crystal structure, morphology, and transmittance of TiO 2 and TiO 2 –W–TiO 2 multi-layer thin films are investigated by...

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Veröffentlicht in:Applied physics. A, Materials science & processing Materials science & processing, 2009, Vol.94 (1), p.117-122
Hauptverfasser: Yang, Cheng-Fu, Huang, Hong-Hsin, Chen, Cheng-Yi, Huang, Ping-Chih, Diao, Chien-Chen
Format: Artikel
Sprache:eng
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