Measuring value correction and uncertainty analysis for homodyne interferometers

The Nanopositioning and Nanomeasuring Machine (NMM-1) developed at the Ilmenau University of Technology is equipped with three homodyne plane-mirror miniature interferometers for the measurement of the displacement of a movable corner mirror. The object being measured is placed on the corner mirror,...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Measurement science & technology 2011-09, Vol.22 (9), p.94028-1-6
Hauptverfasser:	Hausotte, T, Percle, B, Manske, E, Füßl, R, Jäger, G
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Corners Interferometers Mathematical analysis Miniature Nanocomposites Nanomaterials Nanostructure Uncertainty
Online-Zugang:	Volltext
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