Nitridation and contrast of B4C/La interfaces and X-ray multilayer optics

Chemical diffusion and interlayer formation in thin layers and at interfaces is of increasing influence in nanoscopic devices such as nano-electronics, magneto-optical storage and multilayer X-ray optics. We show that with the nitridation of reactive B4C/La interfaces, both the chemical and optical...

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Veröffentlicht in:Thin solid films 2010-10, Vol.518 (24), p.7249-7252
Hauptverfasser: TSARFATI, T, VAN DE KRUIJS, R. W. E, ZOETHOUT, E, LOUIS, E, BIJKERK, F
Format: Artikel
Sprache:eng
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Online-Zugang:Volltext
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