Thermal Actuated Solid Tunable Lens

In this letter, the concept of driving tunable solid lens using microthermal actuator is presented. This microoptical device is composed of a flexible polydimethylsiloxane (PDMS) lens, silicon conducting ring, and silicon heater. The mismatching of coefficient of thermal expansion and stiffness betw...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	IEEE photonics technology letters 2006-11, Vol.18 (21), p.2191-2193
Hauptverfasser:	Lee, Sz-yuan, Tung, Hsi-wen, Chen, Wen-chih, Fang, Weileun
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Actuators Devices Feasibility Heat transmission Heating Heating equipment Lenses Microoptics Microoptoelectromechanical system (MOEMS) Optical refraction polydimethylsiloxane (PDMS) Polymers Silicon Silicone resins Solids thermal actuator Thermal expansion Thermal lensing tunable lens
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