Anticathode effect on electron kinetics in electron beam generated \(\mathbf{E} \times \mathbf{B}\) plasma

Electron beam (e-beam) generated plasmas with applied crossed electric and magnetic \(\left(\mathbf{E} \times \mathbf{B}\right)\) fields are promising for low damage processing of materials with applications to microelectronics and quantum information systems. In cylindrical e-beam \(\mathbf{E} \tim...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	arXiv.org 2024-06
Hauptverfasser:	Nirbhav Singh Chopra, Romadanov, Ivan, Raitses, Yevgeny
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Bias Confinement Electric fields Electron beams Electrons Information systems Langmuir turbulence Plasmas (physics) Quantum phenomena Turbulence
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!