Desirability Function and GA-PSO Based Optimization of Electrochemical Discharge Micro-Machining Performances During Micro-channeling on Silicon-wafer Using Mixed Electrolyte
Silicon-wafer (Si-wafer) is a demandable semiconducting material for micro-fluidic application. Micro-channel on Si-wafer can be produced by electro-chemical discharge micro-machining process (µ-ECDM).Parametric effects on machining depth (MD), overcut (OC) and material removal rate (MRR) has been p...
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Veröffentlicht in: | SILICON 2022-10, Vol.14 (15), p.10007-10021 |
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Hauptverfasser: | , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Volltext |
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