Improvement of thermal stability of nickel germanide using nitrogen plasma pretreatment for germanium-based technology

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Science China. Information sciences 2018-10, Vol.61 (10), p.109401, Article 109401
Hauptverfasser:	Zhang, Bingxin, An, Xia, Liu, Pengqiang, Hu, Xiangyang, Li, Ming, Zhang, Xing, Huang, Ru
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Computer Science Germanium Information Systems and Communication Service Letter Nitrogen plasma Thermal stability
Online-Zugang:	Volltext
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