Non-volatile optical phase shift in ferroelectric hafnium zirconium oxide

A non-volatile optical phase shifter is a critical component for enabling large-scale, energy-efficient programmable photonic integrated circuits (PICs) on a silicon (Si) photonics platform. While ferroelectric materials like BaTiO3 offer non-volatile optical phase shift capabilities, their compatib...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:arXiv.org 2023-09
Hauptverfasser: Taki, Kazuma, Sekine, Naoki, Watanabe, Kouhei, Miyatake, Yuto, Akazawa, Tomohiro, Sakumoto, Hiroya, Toprasertpong, Kasidit, Takagi, Shinichi, Takenaka, Mitsuru
Format: Artikel
Sprache:eng
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