Effect of Large Uniaxial Stress on the Thermoelectric Properties of Microcrystalline Silicon Thin Films
This study reports on the behaviour of the thermoelectric properties of n- and p-type hydrogenated microcrystalline silicon thin films (µc-Si: H) as a function of applied uniaxial stress up to ±1.7%. µc-Si: H thin films were deposited via plasma enhanced chemical vapour deposition and thermoelectric...
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Veröffentlicht in: | Electronics (Basel) 2022-12, Vol.11 (24), p.4085 |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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Online-Zugang: | Volltext |
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