Traffic Flow Speed Prediction in Overhead Transport Systems for Semiconductor Fabrication Using Dense-UNet
To improve semiconductor productivity, efficient operation of the overhead hoist transport (OHT) system, which is an automatic wafer transfer device in a semiconductor fabrication plant (“fab”), is very important. A large amount of data is being generated in real time on the production line through...
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Veröffentlicht in: | Processes 2022-08, Vol.10 (8), p.1580 |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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Online-Zugang: | Volltext |
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