Silicon Vibrating Micro-Wire Resonators for Study of Quantum Turbulence in Superfluid 4He

We report a fabrication process and characterization measurements of single crystal silicon micro-wire resonators to be used for study of quantum turbulence in superfluid 4 He at millikelvin temperatures. Our devices are single standing goal-post-shaped silicon structures with a width and height of...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of low temperature physics 2022, Vol.208 (5-6), p.475-481
Hauptverfasser: Midlik, Šimon, Sadílek, Jakub, Xie, Zhuolin, Huang, Yunhu, Schmoranzer, David
Format: Artikel
Sprache:eng
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Online-Zugang:Volltext
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