Plasma simulation of hot-surface-microwave hybrid ion sources
To generate high-current hard-to-ionize elements such as B + , a hybrid ion source that combines electron cyclotron resonance and thermal surface ionization, which is called a high-temperature surface microwave source (HSMS), is under development. A high-temperature hot surface (2000°) and microwave...
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Veröffentlicht in: | Journal of instrumentation 2022-06, Vol.17 (6), p.P06032 |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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Online-Zugang: | Volltext |
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