The Effect of Transition Metals on the Dielectric Properties of Diamond-Like Silicon–Carbon Films

Studies of the effect of transition metals on the phase composition and electric and dielectric properties of diamond-like silicon–carbon films fabricated by plasma chemical decomposition of poly(phenylmethylsiloxane) are conducted. Frequency, temperature, and concentration dependences of the specif...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Physics of the solid state 2022-02, Vol.64 (2), p.85-93
Hauptverfasser:	Popov, A. I., Barinov, A. D., Emets, V. M., Arta, R. A. Kastro, Kolobov, A. V., Kononov, A. A., Ovcharov, A. V., Chukanova, T. S.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Degassing of metals Diamond-like carbon films Dielectric loss Dielectric permeability Dielectric properties Electric properties Electrical conductivity Electrical resistivity Metals Permeability Phase composition Physics Physics and Astronomy Silicon Solid State Physics Transition metals
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