Free Suspended Thin-Walled Nickel Electroplated Tubes for Microfluidic Density and Mass Flow Sensors
In this paper, a novel fabrication method is proposed for microfluidic tubes with a large diameter, circular cross-section, and thin wall. These properties make the tubes especially suitable for density sensors and Coriolis mass flow sensors, because of the resulting low tube mass, low-pressure drop...
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Veröffentlicht in: | Journal of microelectromechanical systems 2022-06, Vol.31 (3), p.408-414 |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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