Structure-dependent optical nonlinearity of indium tin oxide

We use post-deposition vacuum annealing of epsilon-near-zero (ENZ) indium tin oxide (ITO) nanolayers in order to modify their structural properties and enhance the third-order optical nonlinear response around the ENZ wavelength. We find that room temperature magnetron sputtering deposition results...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Applied physics letters 2022-03, Vol.120 (10)
Hauptverfasser:	Britton, Wesley A., Sgrignuoli, Fabrizio, Dal Negro, Luca
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Annealing Applied physics Compressive properties Deposition Indium tin oxides Magnetron sputtering Metamaterials Nonlinear response Nonlinearity Optical properties Refractivity Room temperature Substrates Tensile strain Thin films Vacuum annealing
Online-Zugang:	Volltext
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