Emergence of triangular features on ion irradiated silicon (100) surface

•Low-energy irradiation of Si (100) surfaces with Ar+ ions produces selforganized nanoripple patterns superimposed on triangular features.•Triangular features are observed within 60–70. angle of incidence.•Dimensional analysis of triangular features with ion fluence is reported.•Numerical simulation...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Surface science 2022-01, Vol.715, p.121951, Article 121951
Hauptverfasser:	Hans, Sukriti, Ranjan, Mukesh
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Argon ions Fluence Incidence angle Ion beams Ion irradiation Parameters Silicon
Online-Zugang:	Volltext
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