Uncooled Antenna-Coupled Microbolometer for Detection of Terahertz Radiation

In this contribution, we describe the design, technology, and physical parameters of antenna-coupled microbolometer, used for broadband detection of terahertz electromagnetic spectrum. This microbolometer features an application of La 0.67 Sr 0.33 MnO 3 layer grown on multilayered material stack ens...

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Veröffentlicht in:	Journal of infrared, millimeter and terahertz waves millimeter and terahertz waves, 2021-04, Vol.42 (4), p.462-478
Hauptverfasser:	Ryger, Ivan, Lobotka, Peter, Steiger, Andreas, Chromik, Stefan, Lalinsky, Tibor, Raida, Zbyněk, Pítra, Kamil, Zehetner, Johann, Spankova, Marianna, Gazi, Stefan, Sojkova, Michaela, Vanko, Gabriel
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Antennas Broadband Classical Electrodynamics Design parameters Electrical Engineering Electronics and Microelectronics Emission analysis Engineering Instrumentation Lattice matching Lattice vibration Micromachining Physical properties Silicon substrates Thermal response Time constant
Online-Zugang:	Volltext
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