Impact of methane concentration on surface morphology and boron incorporation of heavily boron-doped single crystal diamond layers

The methane concentration dependence of the plasma gas phase on surface morphology and boron incorporation in single crystal, boron-doped diamond deposition is experimentally and computationally investigated. Starting at 1%, an increase of the methane concentration results in an observable increase...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Carbon (New York) 2021-02, Vol.172, p.463-473
Hauptverfasser: Rouzbahani, Rozita, Nicley, Shannon S., Vanpoucke, Danny E.P., Lloret, Fernando, Pobedinskas, Paulius, Araujo, Daniel, Haenen, Ken
Format: Artikel
Sprache:eng
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