Impact of methane concentration on surface morphology and boron incorporation of heavily boron-doped single crystal diamond layers
The methane concentration dependence of the plasma gas phase on surface morphology and boron incorporation in single crystal, boron-doped diamond deposition is experimentally and computationally investigated. Starting at 1%, an increase of the methane concentration results in an observable increase...
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Veröffentlicht in: | Carbon (New York) 2021-02, Vol.172, p.463-473 |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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Online-Zugang: | Volltext |
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