Algorithms for using silicon steps for scanning probe microscope evaluation

The 2019 update to the Mise en Pratique for the metre adopted the lattice parameter of silicon as a secondary realisation of the metre for dimensional nanometrology. One route for this realisation is the use of amphitheatre like monoatomic steps of silicon. In response, in this paper we present new...

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Veröffentlicht in:Metrologia 2020-12, Vol.57 (6), p.64002
Hauptverfasser: Garnæs, J, Ne as, D, Nielsen, L, H Madsen, M, Torras-Rosell, A, Zeng, G, Klapetek, P, Yacoot, A
Format: Artikel
Sprache:eng
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Online-Zugang:Volltext
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