PVD‐Abscheidung von CoSm‐Schichten für magnetische Maßstäbe: Hohlkathoden‐Gasfluss‐Sputtern (GFS) für hochwertige Hartmagnetschichten

Magnetische Funktionsschichten werden seit Jahrzehnten als zuverlässige und hochgenaue Informationsträger beispielsweise in Festplattenspeichern oder auf Magnetkarten eingesetzt. Neben der Datenspeicherung bieten Magnetschichten auch in mechanischen und elektromechanischen Elementen ein großes Poten...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten Oberflèachen und Dünne Schichten, 2020-10, Vol.32 (5), p.28-32
Hauptverfasser:	Bandorf, Ralf, Ortner, Kai, Krau, Marco
Format:	Artikel
Sprache:	eng ; ger
Schlagworte:	Algorithms Balances (scales) Cathode sputtering Coatings Data storage Direct reduction Disk drives Gas flow Hollow cathodes Magnetic measurement Micrometers Physical vapor deposition Position measurement Reliability aspects Robustness Workpieces
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

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