Polarization manipulation of surface acoustic waves by metallization patterns on a piezoelectric substrate

Surface acoustic waves (SAWs) with large normal (vertical) surface displacement at the surface are commonly utilized in microfluidic actuators in order to provide the desired momentum transfer to the fluid. We present an alternative concept using a SAW with comparatively small vertical displacement....

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Applied physics letters 2020-10, Vol.117 (14)
Hauptverfasser: Weser, R., Darinskii, A. N., Schmidt, H.
Format: Artikel
Sprache:eng
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Online-Zugang:Volltext
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