Ranges of Hydrogen, Deuterium, and Helium Atoms in Amorphous Silicon and Tungsten

We have obtained the range distributions for H, D, and He atoms within an energy range of 0.1–100 keV in amorphous W and Si for the normal incidence of bombarding particles. Calculations have been performed both in the binary collision approximation and by a more accurate method of calculating parti...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Technical physics 2020, Vol.65 (1), p.145-150
Hauptverfasser: Meluzova, D. S., Babenko, P. Yu, Shergin, A. P., Zinoviev, A. N.
Format: Artikel
Sprache:eng
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Online-Zugang:Volltext
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