Total effective surface area principle for enhancement of capacitive humidity sensor of thick-film nanoporous alumina

•Enhancing total effective surface area can enhance alumina humidity sensing.•Reducing anodizing potential for the increased surface area benefits capacitance sensing.•The alumina humidity sensor formed at 20 V enhances 2–3 times capacitance than those at 40–50 V.•An enhanced linear-like relationshi...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Materials letters 2020-02, Vol.260, p.126921, Article 126921
Hauptverfasser: Chung, C.K., Khor, O.K., Kuo, E.H., Ku, C.A.
Format: Artikel
Sprache:eng
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Online-Zugang:Volltext
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