Responsivity and sensitivity of piezoelectric MEMS resonators at higher order modes in liquids

[Display omitted] •Improved responsivity and sensitivity for higher order modes in liquids.•High quality factors (Q = 170) in sample fluid with dynamic viscosity of 5 mPa∙s.•Sensing of high viscous liquids up to dynamic viscosity of 700 mPa∙s. Micromachined resonators completely submerged in liquids...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Sensors and actuators. A. Physical. 2019-08, Vol.295, p.84-92
Hauptverfasser:	Pfusterschmied, Georg, Patocka, Florian, Weinmann, Christoph, Schneider, Michael, Platz, Daniel, Schmid, Ulrich
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Damping Density Fluid-structure interaction Liquid sensing Liquids MEMS Microelectromechanical systems Micromachining Order parameters Piezoelectricity Q factors Resistance Resonator Resonators Responsivity Sensitivity Sensors Viscosity Viscous damping
Online-Zugang:	Volltext
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