Laser monitor for imaging single crystal diamond growth in H2-CH4 microwave plasma

•CuBr-laser monitor is used for imaging a growing diamond crystal in microwave plasma of CVD reactor.•Contrast images of diamond surface through H2-CH4 plasma background radiation.•The optical configuration provides 4 × 4 mm2 field of view with spatial resolution up to 30 µm. We used an active optic...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Optics and laser technology 2019-12, Vol.120, p.105716, Article 105716
Hauptverfasser: Evtushenko, Gennadiy, Torgaev, Stanislav, Trigub, Maxim, Shiyanov, Dmitry, Bushuev, Egor, Bolshakov, Andrey, Zemskov, Konstantin, Savransky, Valery, Ralchenko, Viktor, Konov, Vitaly
Format: Artikel
Sprache:eng
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