An Integrated High-Capacitance Varicap Based on Porous Silicon

The potential for use of porous silicon in designing varicaps with high capacitance ratios satisfying the requirements of microelectronics and microsystems engineering is considered. The technique for the fabrication of capacitor structures via the electrodeposition of copper onto porous silicon is...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Russian microelectronics 2018-11, Vol.47 (7), p.465-467
Hauptverfasser:	Timoshenkov, S. P., Boyko, A. N., Gaev, D. S., Kalmykov, R. M.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Capacitance Electrical Engineering Engineering Porous silicon Silicon
Online-Zugang:	Volltext
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