Numerical simulation of heat and mass transfer during Czochralski silicon crystal growth under the application of crystal-crucible counter- and iso-rotations

•Crystal- crucible counter- and iso-rotations are investigated.•At low iso-rotation difference, diffusion effect on oxygen transport is stronger than convection effect.•Flow transition occurs when the crystal and crucible have the same iso-rotation rate.•Lower content and larger radial uniformity of...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of crystal growth 2019-02, Vol.507, p.50-57
Hauptverfasser: Nguyen, Thi Hoai Thu, Chen, Jyh Chen, Hu, Chieh, Chen, Chun Hung
Format: Artikel
Sprache:eng
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!