Numerical simulation of heat and mass transfer during Czochralski silicon crystal growth under the application of crystal-crucible counter- and iso-rotations
•Crystal- crucible counter- and iso-rotations are investigated.•At low iso-rotation difference, diffusion effect on oxygen transport is stronger than convection effect.•Flow transition occurs when the crystal and crucible have the same iso-rotation rate.•Lower content and larger radial uniformity of...
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Veröffentlicht in: | Journal of crystal growth 2019-02, Vol.507, p.50-57 |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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Online-Zugang: | Volltext |
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